4 de Setembro de 2026 às 11:02
Uma banca de QUALIFICAÇÃO de MESTRADO foi cadastrada pelo programa.O óxido de alumínio (Al2O3) apresenta propriedades físicas e elétricas que o tornam um material de interesse para aplicações como camada dielétrica em dispositivos eletrônicos. A rota empregada mais simples que permite o crescimento de filmes anódicos diretamente sobre o alumínio sob condições relativamente simples de processamento é a anodização eletroquímica. Neste trabalho, foi desenvolvido e implementado um sistema automatizado para o controle e monitoramento da anodização de filmes de alumínio depositados sobre substratos de vidro, visando ao crescimento controlado de filmes de óxido de alumínio do tipo barreira e sua posterior aplicação em dispositivos Metal-Isolante-Metal (MIM). O sistema utiliza uma fonte programável controlada por software próprio desenvolvido em Python via comunicação GPIB, permitindo o registro contínuo da tensão e da corrente durante o processo. As anodizações foram realizadas em solução de ácido cítrico 0,1 M, com pH ajustado para 5,5, utilizando corrente inicial de 1,0 mA e tensões finais de formação entre 2 e 20 V. A carga elétrica transferida foi determinada pela integração das curvas de corrente em função do tempo, sendo utilizada para estimar a espessura dos filmes pela Lei de Faraday. As espessuras estimadas variaram de aproximadamente 1,98 a 37,20 nm e apresentaram forte dependência aproximadamente linear com a tensão de formação aplicada, com fator de formação estimado de 𝑘est = (1,98 ±0,08) nm/V. A caracterização por espectroscopia UV-Vis-NIR mostrou aumento da transmitância com a tensão de anodização, comportamento consistente com o consumo progressivo do alumínio metálico e o aumento da fração oxidada do sistema. Os resultados eletroquímicos e ópticos obtidos são consistentes com o crescimento controlado de filmes anódicos de caráter barreira. Dispositivos MIM utilizando os filmes produzidos como camada dielétrica foram fabricados, e caracterizações estruturais, morfológicas e elétricas estão previstas para validar a espessura física dos filmes e determinar suas propriedades dielétricas.
